Rasterelektronenmikroskopie
Mittels dem Rasterelektronenmikroskop können einerseits Bilder mit sehr großer Vergrößerung (bis 500.000 fach) bzw. Bilder, die eine große Tiefenschärfe (Bruchbilder) voraussetzen, erstellt werden.
Das Forschungszentrum Mikrotechnik verfügt über ein Rasterelektronenmikroskop der Fa. Fei, Type FEI XL30-ESEM FEG. Mit diesem Gerät können Bilder mit gewünschter Vergrößerung von Proben aller Art erstellt werden - leitende, wenig bis nicht leitende, nasse und biologische Proben. Eine leitende Beschichtung von nicht leitenden Proben ist nicht notwendig.
Das Gerät steht der Industrie und der Wirtschaft für Dienstleistungsaufträge zur Verfügung. Insbesondere die Elementanalyse und das Elementmapping über den betrachteten Bereich erlauben meistens die Klärung von Schadensfällen aller Art.
Serviceleistungen
- REM Bilder von den Proben
- Vergrößerungen von 30 bis 300.000 fach - Auflösung bis 10 nm
- Brüche, die Tiefenschärfe voraussetzten
- Schichtdickenmessung metallischer Überzüge
- ElementAnalyse - welche Elemente sind mit welchem %-Anteil vorhanden
- ElementMapping - welche Elemente sind an welcher Stelle vorhanden
- Schadensanalyse
Anwendungsgebiete – Anforderungen an die Probe
- Leitende, nicht leitende, nasse, biologische Proben
- Anorganische Proben: öl- und fettfrei gereinigt
- Probengröße normal (zwischen Sandkorn und Weinkorken)
- Probengröße maximal 100*100*50 mm
- Tischverfahrbereich ist Kreis mit 50 mm Durchmesser; Z–Achse 25 mm
- Qualitative ElementAnalyse von Bor B (OZ 5) bis Blei Pb (OZ 82)
- Quantitative ElementAnalyse ab Natrium (OZ 11)
- Gewichtsanteil eines zu analysierenden Elementes sollte größer 0,5% sein
Einfache Beispiele
Mikroteile, Makroteile, Oberflächenstrukturen, Beschichtungsaufbau, Brüche aller Art, Korrosion, Korrosionsprodukte, Einschlüsse, Ablagerungen, Fasern, Präparation von Schichtwerkstoffen.
