Infrastruktur

Im April 2005 bezog das Forschungszentrum einen Reinraum der ISO Klasse 5 mit einer Gesamtfläche von ca. 240 m². Zusätzlich stehen ca. 150 m² Laborfläche mit Flowboxen zur Verfügung.

Lithographie

• EVG 101 Resist Processing System (Belacker, 2 Hotplates, Sprühentwickler)

• Süss MA6 / BA6 Mask- und Bondaligner mit 365 und 193 nm Lichtquelle
• verschiedene Öfen und Hotplates

Laserablation

• Laserbearbeitungsanlage: microSTRUCTvario von 3DMICROMAC

• Excimerlaser: Lambda Physik LPF 220 für 193 nm

• Femtosekundenlaser: Spirit von High Q Laser / Newport
• 2 Newport xyz-Präzisionspositioniereinheiten (100 nm)
• Scanlab-Scanner
• Vakuumkammer mit Spektrometer

Galvanik

• Ramgraber Galvanikanlagen für Ni und Cu

Sputteranlagen

• Matvac 320

• Oerlikon LLS EVO

Ätzen

• Plasmaätzanlage Adixen AMS 100 DSE
• Nassätzbank mit 4 Ätzbecken

Thermische Oxidation

• Programmierbarer Diffusionsofen der Fa. ATV Technologie GmbH: Typ PEO 604

Analytik

• Rasterelektronenmikroskop: FEI XL-30 ESEM FEG
• Röntgenfluoreszenz: Fischerscope X-RAY XAN
• Weißlichtinterferometrie: VEECO Wyko NT1100

Probenpräparation

• Manuelle Nasstrennschleifmaschine: Struers Labotom-3
• Automatische Warmeinbettpresse: Struers LaboPress-3
• Schleif- und Poliermaschine: Struers LaboPol-5
• Läpp- und Poliermaschine: Logitech PM5
• Linear Precision Saw: Buehler Isomet 4000