Projekte

Das Forschungszentrum Mikrotechnik erforscht neue Verfahren und Technologien im Bereich der Mikrotechnik.

MAGIC - MAskless lithoGraphy for IC manufacturing

Das Ziel dieses Projekts besteht darin, die Industrietauglichkeit zweier Ansätze zur maskenlosen Elektronenstrahllithographie zu zeigen, gegenseitig abzuwägen, und die Lösung in der ...
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NILdirect_stamp - NanoImprintLithographie

NILdirect_stamp wird eine neue, leistungsfähige Technologie zur Strukturierung von Nanostrukturen für die NIL Stempelproduktion etablieren.
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MALS - Verfahren mit Maskalignern

Ziel dieses Projekts ist die Entwicklung und Optimierung von Simulationsverfahren zur Erforschung und Optimierung innovativer lithographischer Verfahren mit Maskalignern zur Herstellung von ...
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Nanomed - Herstellung stark anisotroper Oberflächen

Ziel dieses Entwicklungsprojekts ist die Untersuchung der Wechselwirkung von menschlichen Zellen mit strukturierten Oberflächen sowie die Herstellung solcher Oberflächen durch das CD ...
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