Im April 2005 bezog das Forschungszentrum einen Reinraum der ISO Klasse 5 mit einer Gesamtfläche von ca. 240 m². Zusätzlich stehen ca. 150 m² Laborfläche mit Flowboxen zur Verfügung. 

Lithographie

  • EVG 101 Resist Processing System (Belacker, 2 Hotplates, Sprühentwickler)
  • Süss MA6 / BA6 Mask- und Bondaligner mit 365 und 193 nm Lichtquelle
  • verschiedene Öfen und Hotplates
     

Laserablation

  • Laserbearbeitungsanlage: microSTRUCTvario von 3DMICROMAC
  • Excimerlaser: Lambda Physik LPF 220 für 193 nm
  • Femtosekundenlaser: Spirit von High Q Laser / Newport
  • 2 Newport xyz-Präzisionspositioniereinheiten (100 nm)
  • Scanlab-Scanner
  • Vakuumkammer mit Spektrometer
     

Galvanik

  • Ramgraber Galvanikanlagen für Ni und Cu
     

Sputteranlagen

  • Oerlikon LLS EVO
     

Ätzen

  • Plasmaätzanlage Adixen AMS 100 DSE
  • Nassätzbank mit 4 Ätzbecken
     

Thermische Oxidation

  • Programmierbarer Diffusionsofen der Fa. ATV Technologie GmbH: Typ PEO 604
     

Analytik

  • Rasterelektronenmikroskop: JEOL JSM-7100F
  • EDX-Analysesystem: EDAX Analysesystem Typ TEAM Enhanced
  • Röntgenfluoreszenz: Fischerscope X-RAY XAN
  • Weißlichtinterferometrie: VEECO Wyko NT1100
     

Probenpräparation

  • Manuelle Nasstrennschleifmaschine: Struers Labotom-3
  • Automatische Warmeinbettpresse: Struers LaboPress-3
  • Schleif- und Poliermaschine: Struers LaboPol-5
  • Läpp- und Poliermaschine: Logitech PM5
  • Linear Precision Saw: Buehler Isomet 4000

Weitere Informationen über das Forschungszentrum Mikrotechnik