Das Forschungszentrum Mikrotechnik ist bei der Materialbearbeitung mittels Ultrakurzpulslaser in zahlreichen international hochaktuellen Forschungsthemen involviert und auch kompetenter Ansprechpartner für Anfragen aus der Industrie. Die bestehende Laserbearbeitungsanlage von 3D Micromac verfügt aktuell über zwei Wellenlängen (IR und grün) und soll über diese Investition auf den UV-Bereich erweitert werden.

Die Bearbeitung mit dem Femtosekundenlaser bietet den Vorteil eines stark reduzierten Wärmeeintrags und ermöglicht Strukturierungsprozesse an einer großen Anzahl von Materialien. Jedoch zeigen die aktuell verfügbaren Laserparameter in technologisch wichtigen Anwendungsgebieten wesentliche Nachteile. Beispielsweise können dielektrische Materialien nicht in der erforderlichen Qualität geschnitten oder bearbeitet werden, da die bisher verfügbaren Wellenlängen zu hohen Schädigungen im Material oder auf den Substratoberflächen führen.

Die Möglichkeit zur Strukturierung mit einem Femtosekundenlaser im UV-Bereich erlaubt über die Grenzen des momentan Machbaren hinaus Forschung und Entwicklung zu betreiben. Zusätzlich bietet sie eine weitere Reduzierung der erreichbaren Strukturgrößen. Die Umsetzung als Komplettlösung in einer bestehenden Anlage erlaubt außerdem die Kombination von Bearbeitungsstrategien mit mehreren Wellenlängen, was im Vergleich zu den meisten Laboren mit ähnlicher Ausrichtung ein Alleinstellungsmerkmal darstellt. Der UV-Bereich ermöglicht die Prozessierung von Hochleistungswerkstoffen aus der Leistungselektronik und Sensorik bis hin zu einer Vielzahl von Polymeren, die besonders sensibel auf thermischen Eintrag reagieren. Diese erweiterte Expertise erhöht die Attraktivität des Forschungszentrums Mikrotechnik als Kooperationspartner für Wissenschaft und Industrie unter anderem in den Bereichen Quantenphysik, Biologie und insbesondere der Sensorik.

Förderung
Das Projekt „Investitionen in eine UV-Laserbearbeitungsanlage " (Projektidentifikationsnummer 1GAADA_01828) wird mit Mitteln aus dem Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) in Österreich kofinanziert. Nähere Informationen zu IWB/EFRE finden Sie auf www.efre.gv.at

EFRE
React-EU

Ansprechpartner:innen

Dipl.-Ing. (FH) Dr. Sandra Stroj
Laserablation und Optik

+43 5572 792 7207
sandra.stroj@fhv.at

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a.o. Univ.-Prof. Dr. techn. habil. Dipl.-Ing. Dipl-Ing. Fadi Dohnal
Leiter FZ Mikrotechnik

+43 5572 7923831
fadi.dohnal@fhv.at

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