Weißlichtinterferometrie Mikrotechnik

Weißlichtinterferometrie dient der Analyse der Geometrie von Licht reflektierenden Oberflächen.

Mit dem Weißlichtinterferometer können Licht reflektierende Oberflächen analysiert werden. Es kann einerseits die Rauheit vermessen werden oder auch die genaue Geometrie der Oberflächen, die Topografie. Der zu vermessende Bereich ist im Normalfall sehr klein, d.h. weniger als 1 mm². Da das Messverfahren auf Lichtreflexion und Interferenz beruht, muss das Werkstück Licht reflektieren. Die Auflösung liegt im Bereich von einigen Nanometern (nm).

Serviceleistungen

• Rauheitsmessung der gängigen und vieler nicht normierter Parameter
• Topographie-Vermessung

Anwendungsgebiete

• Rauheitsmessung Ra, Rq, Rz, Rt einer bearbeiteten Oberfläche aus Metall
• Glasoberflächen sind meist analysierbar
• Topographie eines dreidimensional gefertigten Kleinteiles

Equipment

VEECO  Wyko NT1100