Mit dem Weißlichtinterferometer können Licht reflektierende Oberflächen analysiert werden. Es kann einerseits die Rauheit vermessen werden oder auch die genaue Geometrie der Oberflächen, die Topografie. Der zu vermessende Bereich ist im Normalfall sehr klein, d.h. weniger als 1 mm². Da das Messverfahren auf Lichtreflexion und Interferenz beruht, muss das Werkstück Licht reflektieren. Die Auflösung liegt im Bereich von einigen Nanometern (nm).
VEECO Wyko NT1100