Beschreibung einzelner Lerneinheiten (ECTS-Lehrveranstaltungsbeschreibungen) pro Semester

Studiengang: Master Mechatronics
Studiengangsart: FH-Masterstudiengang
Vollzeit
Wintersemester 2021

Titel der Lehrveranstaltung / des Moduls Mikro- und Nanotechnologie 3
Kennzahl der Lehrveranstaltung / des Moduls 024612130801
Unterrichtssprache Deutsch
Art der Lehrveranstaltung (Pflichtfach, Wahlfach) Wahlpflichtfach
Semester in dem die Lehrveranstaltung angeboten wird Wintersemester 2021
Semesterwochenstunden 4
Studienjahr 2021
Niveau der Lehrveranstaltung / des Moduls laut Lehrplan 2. Zyklus (Master)
Anzahl der zugewiesenen ECTS-Credits 6
Name des/der Vortragenden Matthias DOMKE, Stephan KASEMANN, Volha MATYLITSKAYA, Stefan PARTEL, Dana SEYRINGER, Sandra STROJ


Voraussetzungen und Begleitbedingungen

Grundkenntnisse Technik (BSc Mechatronik, Informatik).


Lehrinhalte

Aufbauend auf den Grundlagen die im ersten und zweiten Semester kennen gelernt wurden, fokussiert sich dieses Semester auf die Anwendungen. Dabei werden die Grundlagen von zwei ausgewählten Bereichen (elektrochemische Sensoren und die integrierte Optik) genauer erläutert.

Im Anschluss der Grundlagen erfolgt eine vertiefende Arbeit im Reinraum in Kleingruppen.   


Lernergebnisse
  • Die Studierenden können aus dem Gebiet der Halbleitertechnologie (Herstellungsmethoden von integrierten Schaltungen) spezifische Methoden beschreiben.
  • Die Studierenden besitzen einen Überblick über Mikro-Lithographieverfahren (Abbildung der entsprechenden Strukturen einer Entwurfsebene auf der Substratoberfläche)
  • Die Studierenden verfügen über einen Überblick über Strukturübertragungsprozesse (subtraktive und additive Verfahren in der Mikrostrukturierung)
  • Die Studierenden sind in der Lage eine Überblick über die wichtigsten für die Mikrotechnik relevanten Mess- und Charakterisierungsverfahren und -technologien zu geben
  • Die Studierenden wenden die gelernten Technologien im Labor an einem Substrat an

Geplante Lernaktivitäten und Lehrmethoden

Themenbezogener Vorlesungsblock / Kleingruppenarbeit im Reinraum


Prüfungsmethode und Beurteilungskriterien

Mündliche Prüfung, ggf. schriftliche Wiederholungsprüfung, ggf. (3. Antritt): kommissionelle Prüfung (mündlich) + Laborübung.


Kommentar

Zielgruppe: Studierende der Fachrichtungen Elektrotechnik, Nachrichtentechnik, Regelungstechnik, Automatisierungstechnik und Informatik, die in die umfangreichen Gebieten der Mikrostruktur- und Halbleiter-Technik in die Verfahren der Mikrostrukturierung eingeführt werden wollen. Angeboten wird ein fundierter Überblick dieses Sektors, der eine solide Basis für eine spätere darauf aufbauende individuelle Spezialisierung leisten kann.


Empfohlene Fachliteratur und andere Lernressourcen

Eigene Skripten, neueste Veröffentlichungen und ausgewählte Kapitel aus Büchern, z.B.

  • Chen, Wai-Kai (ed.): (2007): The VLSI handbook. 2nd ed. Boca Raton, FL: CRC/Taylor & Francis (= The electrical engineering handbook series).
  • Helbert, John N. (ed.): (2001): Handbook of VLSI microlithography: principles, technology, and applications. 2nd ed. Norwich, NY: Noyes Publications/William Andrew Pub.
  • Madou, Marc J (2002): Fundamentals of microfabrication: the science of miniaturization. Boca Raton: CRC Press.

Art der Vermittlung

Seminar / Vorlesung