Beschreibung einzelner Lerneinheiten (ECTS-Lehrveranstaltungsbeschreibungen) pro Semester

Studiengang: Master Mechatronics
Studiengangsart: FH-Masterstudiengang
Vollzeit
Sommersemester 2021

Titel der Lehrveranstaltung / des Moduls Mikro- und Nanotechnologie 2
Kennzahl der Lehrveranstaltung / des Moduls 024612120801
Unterrichtssprache Deutsch
Art der Lehrveranstaltung (Pflichtfach, Wahlfach) Wahlpflichtfach
Semester in dem die Lehrveranstaltung angeboten wird Sommersemester 2021
Semesterwochenstunden 4
Studienjahr 2021
Niveau der Lehrveranstaltung / des Moduls laut Lehrplan 2. Zyklus (Master)
Anzahl der zugewiesenen ECTS-Credits 6
Name des/der Vortragenden Matthias DOMKE, Stephan KASEMANN, Volha MATYLITSKAYA, Stefan PARTEL, Sandra STROJ


Voraussetzungen und Begleitbedingungen

Grundkenntnisse Technik (BSc Mechatronik, Informatik).


Lehrinhalte

Aufbauend auf den erlernten Grundlagen im ersten Semester behandelt das zweite Semester weitere Strukturierungsmethoden sowie Mess- und Charaktierisierungsmethoden.

Folgenden Punkte werden in dem zweiten Teil (Semester 2) behandelt:

  • Direkte Strukturierung mittels Laser
  • Thermische Oxidation
  • Nasschemisches Ätzen
  • Anisotropes Ätzen mittels Gasen (Trockenätzen)
  • Unterschiedliche Mess- und Charakterisierungsmethoden in der Mikro- und Nanotechnik

Lernergebnisse
  • Die Studierenden können aus dem Gebiet der Halbleitertechnologie (Herstellungsmethoden von integrierten Schaltungen) spezifische Methoden beschreiben.
  • Die Studierenden besitzen einen Überblick über Mikro-Lithographieverfahren (Abbildung der entsprechenden Strukturen einer Entwurfsebene auf der Substratoberfläche)
  • Die Studierenden verfügen über einen Überblick über Strukturübertragungsprozesse (subtraktive und additive Verfahren in der Mikrostrukturierung)
  • Die Studierenden sind in der Lage eine Überblick über die wichtigsten für die Mikrotechnik relevanten Mess- und Charakterisierungsverfahren und -technologien zu geben
  • Die Studierenden wenden die gelernten Technologien im Labor an einem Substrat an

Geplante Lernaktivitäten und Lehrmethoden

Themenbezogener Vorlesungsblock gekoppelt mit einem Seminarblock (Laborübung) gleich im Anschluss


Prüfungsmethode und Beurteilungskriterien

Schriftliche Prüfung, ggf. schriftliche Wiederholungsprüfung, ggf. (3. Antritt): kommissionelle Prüfung (mündlich) + Laborübung.


Kommentar

Zielgruppe: Studierende der Fachrichtungen Elektrotechnik, Nachrichtentechnik, Regelungstechnik, Automatisierungstechnik und Informatik, die in die umfangreichen Gebieten der Mikrostruktur- und Halbleiter-Technik in die Verfahren der Mikrostrukturierung eingeführt werden wollen. Angeboten wird ein fundierter Überblick dieses Sektors, der eine solide Basis für eine spätere darauf aufbauende individuelle Spezialisierung leisten kann.


Empfohlene Fachliteratur und andere Lernressourcen

Eigene Skripten, neueste Veröffentlichungen und ausgewählte Kapitel aus Büchern, z.B.

  • Chen, Wai-Kai (ed.): (2007): The VLSI handbook. 2nd ed. Boca Raton, FL: CRC/Taylor & Francis (= The electrical engineering handbook series).
  • Helbert, John N. (ed.): (2001): Handbook of VLSI microlithography: principles, technology, and applications. 2nd ed. Norwich, NY: Noyes Publications/William Andrew Pub.
  • Madou, Marc J (2002): Fundamentals of microfabrication: the science of miniaturization. Boca Raton: CRC Press.

Art der Vermittlung

Seminar / Vorlesung