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  Forschungszentrum Mikrotechnik

Mikrotechnik

 

Das Forschungszentrum Mikrotechnik beschäftigt sich mit der Entwicklung von mikrotechnischen Fertigungsverfahren und Komponenten von Mikrosystemen.

 

Die Schwerpunkte liegen derzeit auf folgenden Verfahren:

  • Optische-Lithographie UV-Lithographie mit dicken Lackschichten (z.B. SU8) und DUV-Lithographie (193 nm Lichtquelle und Maskaligner für hochauflösende Strukturen)
  • numerische Simulation von Proximity- und Kontaktlithographie
  • Plasmaätzen (RIE von Si und Dielektrika)
  • Mikrogalvanik mit Ni und Cu
  • Vakuumbeschichtung von Wafern und anderen planaren Substraten mittels Sputtering
  • Laserbearbeitung mit kurz gepulsten (300 fs) Festkörper- und Excimerlasern (193 nm)
  • Thermische Oxidation von  kristallinen Substra­ten oder polykristallinen Schichten aus Silizium
  • Analytik Rasterelektronenmikroskopie, Elementbestimmung mit EDX und Probenpräparation
  • DWDM Design und Simulation von integriert-optischen Komponenten

 

Die aufgeführten Verfahren stehen auch als Dienstleistung für externe F&E-Partner zur Verfügung.

 

Download: Mikrotechnik Infoblatt (kb 412)

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FH Vorarlberg
Forschungszentrum Mikrotechnik

Campus V
Hochschulstraße 1
6850 Dornbirn
Austria

T +43 5572 792 7200
F +43 5572 792 9501
mikrotechnik@fhv.at

Mag.Dr.Johannes Edlinger
Leiter Forschungszentrum
T +43 5572 792 7200
F +43 5572 792 9501
johannes.edlinger@fhv.at

Monika Gmeiner
Sekretariat
T +43 5572 792 3500
F +43 5572 792 9500
monika.gmeiner@fhv.at