Patente für cleveres mikrotechnisches Fertigungsverfahren
25.10.2022
Mikrotechnische Strukturen im Größenbereich von einigen Nanometern können gemeinhin nur mit sehr aufwändigem high-end Equipment gefertigt werden, das aus Kostengründen fast ausschließlich größeren Chipherstellern zur Verfügung steht. Das zur Fertigung von Strukturen im Mikrometerbereich erforderliche Equipment hingegen ist einem weitaus größeren Kreis von Anwender:innen zugänglich. Auch die FHV verfügt im Reinraumlabor des Forschungszentrums Mikrotechnik (FZMT) über die entsprechende Ausstattung.