Mobile Sensoren für Medizintechnik

Mikrotechnische Strukturen im Größenbereich von einigen Nanometern können gemeinhin nur mit sehr aufwändigem high-end Equipment gefertigt werden, das aus Kostengründen fast ausschließlich größeren Chipherstellern zur Verfügung steht. Das zur Fertigung von Strukturen im Mikrometerbereich erforderliche Equipment hingegen ist einem weitaus größeren Kreis von Anwender:innen zugänglich. Auch die FHV verfügt im Reinraumlabor des Forschungszentrums Mikrotechnik (FZMT) über die entsprechende Ausstattung.

Bereits vor einigen Jahren entwickelte das Team des Forschungszentrums ein Fertigungsverfahren, das es unter Ausnutzung einiger „cleverer Tricks“ ermöglicht, anfänglich in Mikrometergröße erzeugte Strukturen im weiteren Verlauf des Prozesses auf eine Größe von unter 100 Nanometer zu verkleinern. Dieses Verfahren erlaubt es beispielsweise, bei der Herstellung vielfältigster Sensorstrukturen auf einige kritische Standardprozessschritte zu verzichten. Auch die Skalierbarkeit ist im Hinblick auf eine kostengünstige Massenproduktion gegeben.

Erfolgreiche Patentanmeldung

Gemeinsam mit den Projektpartnern von der Universität Freiburg meldeten die Forscher vom FZMT das entwickelte Verfahren 2015 in Deutschland und in den USA zum Patent an. Ein Patentverfahren erstreckt sich auf Grund der vorgegebenen Einspruchs- und Offenlegungsfristen von der Einreichung bis zur Erteilung immer über mehrere Jahre. Diese Zeit nutzten die Forscher:innen an der Fachhochschule intensiv dazu, hauseigene Expertise im Bereich der elektrochemischen Life-Science- und Bio-Sensorik zu gewinnen, und es ist ihnen erfolgreich gelungen, dieses vielfältige Themengebiet als einen Forschungsschwerpunkt des FZMT zu etablieren. Das neuartige Fertigungsverfahren bildet hierfür eine zentrale technologische Grundlage.

2018 honorierte das Deutsche Patent- und Markenamt die „cleveren Tricks“ mit der Erteilung des Patents Nr. DE 10 2015 211 392. Am 26. Oktober des vergangenen Jahres kam das Patentverfahren mit der Erteilung des amerikanischen Patents Nr. US 11,156,579 durch das amerikanische Patentamt nun zum Abschluss.

Oktober 2022